產(chǎn)品介紹
設(shè)計(jì)特點(diǎn):
A. 無(wú)鐵芯直線電機(jī)直驅(qū)
B. 高精度以及精準(zhǔn)回零
C. 無(wú)塵室蓋板
無(wú)塵室外殼DGL XY 平臺(tái), 采用雅科貝思無(wú)塵室蓋板標(biāo)準(zhǔn)DGL模組組成。具有良好的剛性性能,以及良好的定位精度。適用于無(wú)塵室環(huán)境。
規(guī)格/3D圖紙
模組配置
模組 |
軸 |
電機(jī)型號(hào) |
有效行程 |
運(yùn)動(dòng)質(zhì)量 |
總質(zhì)量 |
傳感器限位 |
硬限位 |
(mm) |
(Kg) |
(Kg) |
(mm) |
(mm) |
DGL200 |
上軸 |
AUM4-S2 |
300 |
3.1 |
29 |
304 |
320 |
AUM4-S3 |
300 |
3.4 |
29 |
304 |
320 |
下軸 |
AUM4-S3 |
300 |
24.9 |
103 |
304 |
320 |
AUM4-S4 |
300 |
26.1 |
103 |
304 |
320 |
注:花崗巖的質(zhì)量大約240Kg.
性能參數(shù)
規(guī)格參數(shù) |
單位 |
DGCR 300 |
DGCRS 300 |
1直線度 |
μm |
±3μm/25mm, NTE±10μm/510mm |
±3μm/25mm,NTE±10μm/610mm |
1平面度 |
±3μm/25mm, NTE±10μm/510mm |
±3μm/25mm,NTE±10μm/300mm |
重復(fù)精度(1μm分辨率) |
±3 (40μm光柵柵距) |
±3 (40μm光柵柵距) |
重復(fù)精度(0.5μm分辨率) |
±1.5 (20μm光柵柵距) |
±1.5 (20μm光柵柵距) |
重復(fù)精度(0.1μm分辨率) |
±1 (20μm光柵柵距) |
±1 (20μm光柵柵距) |
重復(fù)精度(模擬量) |
±5 counts |
±5 counts |
X-Y正交性 |
Arc-sec |
10 |
10 |
注:所有的測(cè)量數(shù)據(jù)基于模組安裝在平面度為5μm的花崗巖臺(tái)面上。
尺寸圖

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