產(chǎn)品介紹
設(shè)計特點(diǎn):
A. 無鐵芯直線電機(jī)直驅(qū)
B. 高精度以及精準(zhǔn)回零
C. 懸臂式結(jié)構(gòu)
懸臂式DGL XY平臺,采用雅科貝思標(biāo)準(zhǔn)模組DGL組成。具有良好的剛性性能,以及良好的定位精度。
規(guī)格/3D圖紙
模組配置
模組 |
運(yùn)動軸 |
電機(jī)型號 |
有效行程 |
運(yùn)動總質(zhì)量 |
總質(zhì)量 |
傳感器限位 |
硬限位 |
(mm) |
(Kg) |
(Kg) |
(mm) |
(mm) |
DGL180 |
上軸 |
AUM3-S2 |
200-300 |
查看表2 |
查看表3 |
行程+4 |
行程+20 |
AUM3-S3 |
AUM3-S4 |
DGL200 |
下軸 |
AUM4-S2 |
200-600 |
A |
B |
行程+4 |
行程+20 |
AUM4-S3 |
AUM4-S4 |
A=表格2(下軸)+表格3+6.12(連接塊質(zhì)量,Kg)
B=A+表格4
軸運(yùn)動質(zhì)量
滑架尺寸 |
S2 |
S3 |
S4 |
上軸 |
2 |
2.5 |
2.7 |
下軸 |
2.4 |
3.1 |
3.4 |
上軸的總質(zhì)量
有效行程/上軸質(zhì)量(g) |
200 |
300 |
電機(jī)線圈尺寸S2 |
17.04 |
20.44 |
電機(jī)線圈尺寸S3 |
18.26 |
22.94 |
電機(jī)線圈尺寸S4 |
20.74 |
23.24 |
下軸的總質(zhì)量
有效行程/下軸質(zhì)量(g) |
200 |
300 |
400 |
500 |
600 |
電機(jī)線圈尺寸S2 |
16.4 |
19.8 |
22.3 |
25.7 |
29.1 |
電機(jī)線圈尺寸S3 |
18.9 |
22.3 |
24.9 |
28.3 |
31.7 |
電機(jī)線圈尺寸S4 |
20.1 |
22.6 |
26.1 |
29.5 |
32 |
性能參數(shù)
規(guī)格參數(shù) |
單位 |
DGL180 |
DGL200 |
1直線度 |
μm |
±3μm/25mm |
±3μm/25mm |
NTE±10μm/300mm |
NTE±10μm/300mm |
1平面度 |
±3μm/25mm |
±3μm/25mm |
NTE±10μm/300mm |
NTE±10μm/300mm |
重復(fù)精度(1μm分辨率) |
±3 (40μm光柵柵距) |
±3 (40μm光柵柵距) |
重復(fù)精度(0.5μm分辨率) |
±1.5 (20μm光柵柵距) |
±1.5 (20μm光柵柵距) |
重復(fù)精度(0.1μm分辨率) |
±1 (20μm光柵柵距) |
±1 (20μm光柵柵距) |
重復(fù)精度(模擬量) |
±5 counts |
±5 counts |
X-Y正交性 |
Arc-sec |
10 |
10 |
注:所有的測量數(shù)據(jù)基于模組安裝在平面度為5μm的花崗巖臺面上。
1 電機(jī)線長度是在下軸滑架安裝之后測量所得
尺寸圖

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